Advanced Energy Impac IGA5高溫計(jì)用于 0°C 至 1500°C 藍(lán)寶石和藍(lán)寶石晶圓溫度測量，專為對藍(lán)寶石和藍(lán)寶石晶圓進(jìn)行非接觸溫度測量而設(shè)計(jì)?？梢赃h(yuǎn)程配置溫度子范圍并調(diào)整參數(shù)。配備模擬輸出和數(shù)字接口，可以在計(jì)算機(jī)上存儲溫度值和數(shù)據(jù)?？舍槍Σ煌瑧?yīng)用提供不同的光學(xué)部件。

特點(diǎn)：

采用輸出數(shù)字線性化，精度高

模擬輸出 0 或 4 至 20 mA

數(shù)字接口 RS232

激光瞄準(zhǔn)光

可調(diào)曝光時(shí)間

緊湊型設(shè)計(jì)

技術(shù)參數(shù)：

?

溫度范圍：0°C 至 1500°C

可在溫度范圍內(nèi)調(diào)節(jié)至任意量程，最小量程為 51°C

光譜范圍：8 至 9.7 µm

測量不確定性：

讀數(shù)的 0.6% °C 或 3°C（Tamb.= 15°C 至 30°C）

讀數(shù)的 1% °C 或 5°C（Tamb.= 0°C 至 5°C 或 30°C 至 63°C）

（ε = 1，t90 = 1 S，Tamb. = 常量）

取較大值；儀器必須在恒定環(huán)境溫度下保持至少 60 分鐘，且需要連接到電源

可重復(fù)性：讀數(shù)的 0.3% °C 或 0.6°C（ε = 1 時(shí)，t90= 1 s）

取較大值。儀器必須在恒定環(huán)境溫度下保持至少 30 分鐘。

曝光時(shí)間 t90：0.18 s；可在高溫計(jì)中調(diào)節(jié)：0.5 s、1 s、2 s、5 s，可通過接口調(diào)節(jié)：0.5 s、1 s、2 s、5 s、10 s、30 s

防護(hù)等級：IP65 (DIN 40050)

環(huán)境溫度：0°C 至 63°C

存放溫度：-20°C 至 70°C 

相對濕度：無冷凝條件

重量：約 0.41 千克

外殼：不銹鋼

通過 CE 認(rèn)證：符合歐盟關(guān)于電磁抗擾度的指令

電源：24 V DC（18 至 30 V Dc）公稱，紋波必須小于 0.5 V

功耗：最大 70 mA 

負(fù)載： 24 V 時(shí)最大 500 ?（18 V 時(shí)最大 200 ?）

隔離：電源、模擬輸出和數(shù)字接口相互電隔離

高溫計(jì)的測量誤差主要來源于：

①中間媒質(zhì)（如大氣等）的選擇吸收作用，使達(dá)到接受器的輻射能量中紅外部分損失較多；

②沒有按規(guī)定的熱源到高溫計(jì)的距離進(jìn)行測量（通常每種輻射高溫計(jì)對于被觀測面面積的直徑與高溫計(jì)透鏡間的距離都規(guī)定了比值）；

③各種高溫計(jì)中接受器的選擇吸收特性不同，致使光譜發(fā)射率偏離選取值；④熱電堆冷熱端溫度的改變、儀表的誤差等。

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